是德科技(Keysight Technologies Inc.)推出4881HV高電壓晶圓測試系統,擴展其半導體測試產品組合。該解決方案可實現高達3kV的參數測試,支援一次性完成高、低電壓測試,進而提高功率半導體製造商的生產效率。
傳統上,製造商需使用不同的測試儀器分別量測晶圓的高、低電壓。 然而,由於功率半導體的需求因其多功能性、高性能及新一代設備如碳化矽(SiC)和氮化鎵(GaN)的出現而迅速增長,客戶極需更準確、高效的量測解決方案,以縮短產品上市的時間。
是德科技的解決方案透過協助功率設備製造商在生產過程中執行製程控制監控(PCM)和晶圓接受測試(WAT),克服了這些挑戰。新測試系統具備以下優勢:
• 高電壓能力以滿足未來需求:高電壓開關矩陣(HV-SWM)支援高達3kV 的需求,可擴充至29個針腳,並與高精密電源量測設備(SMU)整合。從低電壓如sub-pA到3kV高電壓,它可在任意針腳上靈活地進行精密的量測,並支援高壓電容量測量和各種參數測試。
• 透過單一測試提高生產力和效率:HV-SWM以單一測試系統取代傳統高、低電壓分離的測試系統,提高效率並減少佔地面積和測試時間。該系統透過是德科技的SPECS-FA軟體整合工廠自動化環境,進而提高整體生產效率。
• 提升安全性和可靠性:測試系統內建電路保護與機器控制功能,可確保操作人員及設備在測試過程中免受高電壓突波的影響,並符合SEMI S2標準等安全法規。
是德科技副總裁暨晶圓測試解決方案事業群總經理Shinji Terasawa表示:「是德科技很高興能在長期測試先進半導體的基礎上,推出此款轉爲功率半導體設計的全新晶圓測試系統。我們的使命是通過提供最頂尖的解決方案,預見並滿足半導體產業快速發展的需求,進而引領市場。此項創新展現了我們對產業的堅定承諾。」
資源
• 產品: 是德科技4881HV高電壓晶圓測試系統
• 手冊: 是德科技4881HV高電壓晶圓測試系統
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是德科技4881HV高電壓晶圓測試系統可實現高達3kV的參數測試,支援一次性完成高、低電壓測試,進而提高功率半導體製造商的生產效率。
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