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三星表示，極紫外光微影技術可以帶來更小的奈米波長光線，使用單一光罩模組，相較於傳統的氟化氬技術，節省時間與成本，運用這項技術的7奈米低功耗晶片和10奈米的FinFET製程相比，提供較大的產量，帶來效能的提昇或更低的功耗。