台灣應用材料(Applied Materials Taiwan)總經理林子倩2月23日表示,台灣應用材料在2001年的策略,將持續以技術能力的研發為主軸,提供客戶解決方案,並將深耕本土,逐漸增加應用材料在台灣的製造委外。潔淨室所需設備是2001年委外重點

吳子倩強調台灣是應用材料唯一正式成立零組件外包的據點,同時也是在美國本土以外成立潔淨室生產線的首例,南科製造中心預定在3月試車,6月量產,其中潔淨室所需的設備,將是2001年委外的重點,台灣應用材料也要求美國的供應廠商將技術移轉給台灣廠商。

吳子倩指出,台灣的生產製造和零組件採購的能力,有助於應用材料降低成本,台灣應用材料執行副總經理張柏齡則指出,增加供應鏈的效率,可以促成供應鏈轉化為價值鏈,例如智邦科技在1月生產的控制器次系統,公準精密預計在2月底出貨的單晶圓載入設備(Single Wafer Loadlock),都是台灣應用材料委外的計畫,和台灣廠商製造能力的展現,台灣應用材料並表示,目前合作的委外廠商共有七家,除了智邦、公準之外,還有華泰等廠商。

台灣應用材料製造處資深處長何幼梅指出,在半導體設備中,可以區分為數個次系統,包括晶圓冷卻室(Cooldown Chamber Assembly)、機電控制模組(Control System)、單晶圓傳輸系統(Single Wafer Transportation System)、化學傳輸系統(Chemical System)等模組,佔產品成本的10-15%,將關鍵性次系統委外在台灣製造,將可有效壓低製造成本。

同時這些次系統注重精密加工、表面處理的技術,進入門檻高,但是一旦跨過門檻卻可維持高附加價值,對於台灣廠商面對大陸廠商的競爭時,也是有助於台灣繼續維持競爭力,台灣應用材料預估在2004年進行半導體設備全機整合的計畫。
2001年是12吋晶圓生產的關鍵年

張柏齡表示,應用材料在2001年技術發展分別為12吋晶圓、0.1微米製程、和銅製程和Low k界電質等新材料的應用。全球12吋前段製程設備佔整體前段製程設備支出的比例為25%,但是台灣12吋前段製程設備佔整體前段製程設備支出的比例為42%,台灣廠商在12吋晶圓廠的投資較他國更為積極。

林子倩指出,台灣廠商在12吋晶圓的發展,和全球其他的晶圓廠是同時在技術上競爭,所以和之前6吋8吋廠移轉現成技術的過程相比,遭遇的挑戰也較多。不過例如台積電選用Black Diamond低介電質製程並完成試產,就是全球8層銅導線配合Low k低介電質的成功首例,台灣並可將經驗移轉給其他廠商。張柏齡也預估銅製程在2001年可以達到7億美元的規模。

林子倩並解釋景氣環境雖然不好,但是廠商也已經有在景氣低落時,增加研發投資的共識,2001年將可以看到12吋晶圓生產的成果。台灣應用材料產品管理處副總經理汪青蓉並表示,2001年下半年將是客戶檢驗產品,決定是否在大量訂單來臨時,採用12吋晶圓生產的關鍵時間。

張柏齡也表示除了12吋晶圓、銅製程的發展之外,應用材料在2001年產品市場開發的重點,還包括單晶圓前段製程設備、單晶圓、中電流∕高能量離子植入系統、製程監測與控制等領域。

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